Эпитаксиаль өсөлт хэрхэн ажилладаг вэ?

Агуулгын хүснэгт:

Эпитаксиаль өсөлт хэрхэн ажилладаг вэ?
Эпитаксиаль өсөлт хэрхэн ажилладаг вэ?

Видео: Эпитаксиаль өсөлт хэрхэн ажилладаг вэ?

Видео: Эпитаксиаль өсөлт хэрхэн ажилладаг вэ?
Видео: Эпитакси 2024, Гуравдугаар сар
Anonim

Эпитакси, тодорхой чиглэлийн талстыг өөр талст дээр ургуулах үйл явц бөгөөд чиг баримжаа нь үндсэн талстаар тодорхойлогддог. нэгдсэн хэлхээнд ашигладаг шиг хагас дамжуулагч өрлөгт төрөл бүрийн давхарга үүсгэх нь процессын ердийн хэрэглээ юм.

Эпитаксиаль өсөлт хэрхэн бий болдог вэ?

Арга. Эпитаксиал цахиурыг ихэвчлэн уурын фазын эпитакси (VPE) ашиглан ургуулдаг бөгөөд энэ нь химийн уурын хуримтлалын өөрчлөлтюм. Молекулын цацраг ба шингэн фазын эпитаксийг (MBE ба LPE) голчлон нийлмэл хагас дамжуулагчдад ашигладаг. Хатуу фазын эпитаксийг голчлон талст гэмтлийг эдгээхэд ашигладаг.

Эпитаксиаль өсөлтөд ямар хий ашигладаг вэ?

Эпитаксиаль өсөлтийн мөчлөгийн үед урьдчилан цэвэрлэсэн GaAs ялтсуудыг усгүй HCl хийг хэмжих галлий элементийн шингэний дээд нөөцийг агуулсан босоо кварц реакторын камерт ачдаг., GaCl3 үүсгэх.

Эпитаксиаль давхарга гэж юу вэ?

фотоник төхөөрөмж

Фотоныг үр ашигтай ялгаруулах эсвэл илрүүлэхийн тулд эдгээр процессыг маш нимгэн хагас дамжуулагч давхаргаар хязгаарлах шаардлагатай байдаг. Хагас дамжуулагч хавтан дээр ургасан эдгээр нимгэн давхаргыг эпитаксиаль давхарга гэж нэрлэдэг, учир нь талст чанар нь субстратын давхаргатай таарч байгаа ч…

Эпитаксиаль өсөлтийг хянах гол үзүүлэлтүүд юу вэ?

Өсөлтийн процесс нь сонгомол чанарыг (жишээ нь талбайн талбайн полисиликон бөөмжилт), хажуугийн ханыг бүрэн хянахын тулд температур, даралт, хийн урсгал зэрэг үндсэн параметрүүдийг оновчтой болгоход оршино. нүүр царай, согог үүсгэх, автодопинг.

Зөвлөмж болгож буй: